非酸化物セラミックス
Non-oxide Ceramics
高強度かつ耐熱衝撃性・耐摩耗性に優れた材料で高温でも強度が高い性質を持つ優れたエンジニアリングセラミックスです。
これらの特性を生かして、金属製造プロセスの部品や粉砕機部品・半導体製造装置など、幅広い業界で使用されています。
代表的な非酸化物セラミックス
窒化ケイ素/Si3N4
ファインセラミックスの中で最も耐熱衝撃性が高い材料です。
高温環境下でも優れた強度を持ち、耐摩耗性も優れています。
炭化ケイ素/SiC
ダイヤモンド、炭化ホウ素に次いで高硬度な材料です。
熱伝導率が高い点、半導体である点からパワー半導体材料としても用いられます。
窒化アルミ/AlN
ファインセラミックスの中で最も熱伝導率が高い材料です。
他のファインセラミックスに比べて電気絶縁性も高い事も特徴です。
窒化ホウ素/BN
熱膨張率が低く耐熱衝撃性に優れた材料です。
黒鉛に似た結晶構造を持つことから「白い黒鉛」とも呼ばれています。
主な用途
金属溶湯用部品
粉砕機部品
メカニカルシール
半導体製造装置部品
伸線機部品
製作事例
品名：セラミックステージ
用途：電子部品生産工程
品名：センターピン
用途：電子部品生産工程
品名：プロープガイド
材質：ジルコニア
